一条新的试验性试生产线将在半导体平台中集成石墨烯和相关的分层材料(GRM)

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欧盟委员会最近邀请了一组{attr}1195{/attr}合作伙伴和相关成员来建立实验性试生产线,以将石墨烯和相关的分层材料(GRM)集成到半导体平台中。

该项目旨在建立一个涵盖整个价值链的欧洲生态系统,从工具制造商,化学和材料供应商到试验生产线。这个合作项目将开创集成GRM的新原型电子产品,光子学和传感器的制造。2D实验中试线(2D-EPL)将为公司,研究中心和学者提供原型服务,以在已建立的处理平台中基于2D材料开发其创新技术。

“通过开发用于处理GRM的欧洲试验生产线,我们旨在将这些创新材料从学术实验室引入半导体生产线,使其与行业标准兼容。此外,我们希望提早提供实验材料。向欧洲的GRM专家创新社区进行试验线生产。该试验线将使他们能够演示如何制造和扩大基于GRM的创新设备的生产,”探索性材料和模块集成项目经理Cedric Huyghebaert说道。来自比利时imec,是2D-EPL项目的技术负责人。

2D-EPL项目将依靠瑞典查尔默斯理工大学的石墨烯旗舰团队的专业知识进行行政管理。技术和科学管理将由比利时的imec领导,并由一个核心技术指导小组提供支持,该小组由来自集成试验线站点的主要调查员组成。该项目将由一个工业咨询委员会进行概述,该咨询委员会将由欧洲半导体行业的主要参与者进行整合。董事会将不断获悉2D-EPL项目的进展和开发的解决方案,还将提供有关市场分析和项目早期机会的反馈。

2D-EPL将开发在已建立的半导体平台上集成GRM所需的工具,化学和材料。该生态系统将在整个欧洲,德国AMO和iHP的最先进洁净室环境中得到验证;芬兰VTT;和比利时的imec。在随后的阶段中,该项目将开发模块,这些模块将为光电子,光子学和电子学领域的基于GRM的技术制造基本构建块。这些模块将通过多用途晶圆向欧洲用户公开提供。该策略将确保技术广泛可用,并且以合理的价格获得。

2D-EPL的最终目标是与欧洲领先的Graphene Flagship合作伙伴(包括中小型企业,工业公司,研究机构和学术合作伙伴)紧密合作,以建立演示者并实现与传统半导体集成的基于GRM的创新技术的小批量生产。 

参加这项新冒险活动的众多合作伙伴2D-EPL也是石墨烯旗舰的积极成员,该旗舰是由欧洲委员会资助的最大的研究计划之一。2D-EPL将与Graphene Core 3项目一起使用,以了解GRM的基本原理以及如何将这些材料推向市场。2D-EPL将与石墨烯旗舰先导项目紧密结合在一起,从而领导具有GRM功能的演示器的生产,其中一些已经在开发中。

2D-EPL合作伙伴在石墨烯旗舰研究小组的最前沿都发挥着领导作用。此外,2D-EPL合作伙伴还确定了新参与者加入该项目的必要性,以引入石墨烯旗舰项目框架中所缺少的专业知识。所有这些新的合作者也将加入石墨烯旗舰联盟。

2D-EPL与Graphene Flagship核心项目之间的合作将至关重要,因为Graphene Flagship核心正在开发中试线支持的大量潜在应用程序。尽管如此,新的2D-EPL项目的重点和组织方式完全不同-其目标是建立长期计划,以克服公共资助项目的“窗口挑战”。2D-EPL将成为欧洲和国外研究与创新参与者的可持续按需服务。

该项目有望获得欧盟Horizon 2020研究与创新计划的资助。


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